
采用TOPSTEK清洗上下料机,配合硅片清洗设备使用,将来料硅片由承载盒或花篮自动装载到清洗设备中;待清洗完成后,由皮带输送机装载到客户指定片盒内。 通过使用TOPSTEK清洗上下料机,可代替人工操作,降低人工作业强度及硅片碎片率,减少人为二次污染,提高良率及产能。
- 硅片清洗自动上下料机
产品规格:
设备尺寸 | 堆叠8道设备 1.5mx2.9mx2m | |
片盒8道设备2.1mx2.9mx2m | ||
堆叠5道设备1.5mx2.4mx2m 片盒5道设备 2.1mx2.5mx2m |
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适用Wafer尺寸 | 125x125mm/156x156mm(±0.5mm) | |
设备产能 | 4300pics/h(可定制) | |
破片率 | <0.03% (硅片自身缺陷除外) |
产品特性:
不间断堆叠上料,保证产能提升
可选上料隐裂、双片检测模块
可选下料水迹、破片检测模块
专利吹气机构,有效降低叠片及破片率
便捷式配置页面,可自由设置各个参数
运动部件安全防护,保障人身安全
优化的结构设计,占地空间小
操作界面: